多晶硅作为吸附剂去除三氯氢硅中的杂质

优势与应用特点
高选择性：对金属阳离子和部分非金属卤化物的吸附能力强，尤其适合三氯氢硅体系的提纯需求。
化学稳定性：在酸性、中温（<100℃）环境下不易溶解或分解，可多次再生使用（通过酸洗或热解脱附杂质），降低成本。
环保性：作为无机吸附剂，相比有机吸附剂更易处理，且锆元素无毒，不会引入新的污染。