氢氧化锆在多晶硅生产中是一种高效的深度提纯吸附剂

氢氧化锆在多晶硅生产中是一种高效的深度提纯吸附剂
氢氧化锆在多晶硅生产中是一种高效的深度提纯吸附剂，主要通过吸附去除三氯氢硅原料中的金属离子和部分非金属杂质（如硼、磷），为后续还原工序提供高纯度原料，最终保障多晶硅的电学性能和产品质量。