微小气体流量计的技术优势及应用发展

微小气体流量计是一种常用的直接测量气体质量的流量仪表。它是一种新型流量仪表，无需温度和压力补偿，即可轻松准确地检测管道中空气、氮气、氢气、氧气、天然气、烟气和其他气体（乙炔气除外）的质量流量。它具有很高的灵敏度，非常适合于小流量、大直径的现场测量。因此，它具有可靠性高、精度高、稳定性强、重复性高、压力损失小、结构多样可选、维护安装方便等优点。目前，它已广泛应用于各行业的现场气体流量测量。

微小气体流量计的技术特色：

1.微小气体流量计没有压力损失或非常小的压力损失，没有阻流元件，没有测量引起的压力损失，尽管热分布式TMF和带有分流管的侵入式TMF有阻流部件，但压力损失也很小。

2.它可以测量非常低的流量或小的流场，低压气体流，甚至真空分子流。

3.微小气体流量计的仪表系数是随气体类型或混合气体成分变化的流体，无法测量质量热容（比热容）。由于气体类型或成分的变化，恒压比热容JP和导热系数发生变化，影响测量值。它不可用于可混流体或可能产生相变的流体。

4.可靠性高，无活动部件。

5.热分布TMF用于接近理想气体（如CO、N2和02）的双原子气体，可直接用空气进行验证。

6.在测量气体流量时，通常以标准状态下的体积流量单位表示，介质温度/压力的变化对测量值几乎没有影响。如果密度在标准状态下是恒定的（即成分恒定），则其与质量流量相似。

微小气体流量计的发展可以追溯到20世纪初，但它只是热传导效应原理的提出，尚未投入技术生产。直到20世纪80年代，一些发达国家才正式将热传导技术应用于气体质量流量计的测量，但受微电子技术的限制，微小气体流量计存在干扰强、响应速度慢等缺点。因此，它仅适用于特殊的小流量监测场合，尚未得到各行业的认可。

进入21世纪后，随着微电子技术和计算机技术的飞速发展，旧的微小气体流量计的困境已经消失，其精度、计算速度和抗干扰能力都有了很大的提高。这样，微小气体流量计技术得到了迅速发展。目前，国产气体质量流量计的技术也在不断完善，已广泛应用于石油、天然气、化工、食品、环保、医药、轻工、电力、冶金等行业。