真空泵怎么选型

　　真空泵机组一般由以下部件组成：各种真空泵;真空测量装置;真空阀;真空管道和一些其他部件，如收集器、真空连接器、储气罐、波纹管、除尘器和真空继电器。

　　根据真空泵机组的工作压力，有粗真空泵机组(大于1330 Pa);低真空泵机组(1330 ~ 0.13 Pa););高真空泵机组(0.13 ~ 1.3 10-6pa);超高真空泵机组(1.3 10-6 ~ 1.3 10-11pa);超高真空泵机组(小于1.2 10-11帕)。

　　用于高真空的罗茨真空泵机械增压泵)不可直接排放大气。比如罗茨真空泵的进风口和出风口的压差太大，造成罗茨真空泵过载，如果单纯增加罗茨真空泵电机的功率，罗茨真空泵就会过热，这样罗茨真空泵的转子之间的小间隙就会因为热膨胀而迅速卡死。为了确保罗茨真空泵可以达到高真空，有必要确保罗茨真空泵转子之间的间隙。因此，罗茨真空泵在运行时必须配备一台前级泵，当系统中的压力被前级泵抽至一定范围时，可以启动罗茨真空泵，以免罗茨真空泵超负荷，前级泵可以是水(液)环真空泵、旋叶真空泵、滑阀真空泵、往复式真空泵等可以直接排放大气的真空泵。

　　正常情况下，罗茨真空泵机组挑选水环泵作为前级泵比其他真空泵更有优势，这主要是因为其可以泵出大量的可凝性蒸汽，特别是当当气镇油封机械真空泵对可凝性蒸汽的去除能力不足，或者使用的溶剂会使泵油变质而影响其性能，或者真空系统不允许油污染时。

　　低真空泵机组的主要特色是工作压力高、排量大，但抽气速度低于高真空泵机组。主要用于真空室的粗抽、真空输送、真空浸渍、真空过滤、真空脱气、真空干燥等。粗真空泵机组的主泵往往是往复真空泵、油封真空泵、水喷射泵、蒸汽喷射泵、水环泵、油蒸汽喷射泵、分子筛吸附泵和罗泵。使用粗抽真空泵机组时，还需要根据泵送气体的洁净度、湿度等工艺要求配置除尘器、干燥过滤器等部件。如罗水环，我厂生产的JZJB、jz2b、JZJS等真空泵机组

　　高真空泵机组，如JZJX和JZJP 罗旋叶式真空泵机组等。

　　(1)挑选主泵，主泵包括扩散泵、分子泵、溅射离子泵、钛泵和低温泵。

　　挑选预抽泵和储气管(避免冲击，缩短工作周期，避免真空室中大量气体瞬间释放，稳定扩散泵出口压力)超高真空泵机组

　　主泵极限真空度高，漏风率低，耐200~450烘烤。

　　扩散泵机组：减少回流，控制污染;

　　分子泵组：对氢压缩比小，残余气体以氢气为主;

　　溅射离子泵组：通常与钛泵配合使用;

　　深冷泵机组：无污染。

　　超高真空泵机组由于成本高、装配结构严格，逐渐被罗茨旋片真空泵机组取代。但是在极其严格的工作环境下还是有一定的需求。