文章摘要: 流量显示不稳定的因素很多,需要确认是显示仪的问题还是MFC的问题。 1.检验显示仪显示仪单独检测,将后端15针插头的设定与流量检测短接,顺时针调节设定旋钮观察前端面板瞬时流量显示,是否可以从0到满量程。如果不可正常从0调节到满量程,则我们可以判断是显
流量显示不稳定的因素很多,需要确认是显示仪的问题还是MFC的问题。 1.检验显示仪 显示仪单独检测,将后端15针插头的设定与流量检测短接,顺时针调节设定旋钮观察前端面板瞬时流量显示,是否可以从0到满量程。如果不可正常从0调节到满量程,则我们可以判断是显示仪发生故障。不同型号显示仪的判断可参考“D08系列显示仪故障快速排查讲解”介绍。 2.检验MFC 若能排除显示仪问题,则很可能是实际流量控制不稳或者MFC问题。通常可以从以下方面进行逐一排查,迅速确定故障原因,从而根本性解决问题: ■ 可能为地线干扰,检验接地系统。 ■ 可能为空间干扰,主要是电磁干扰,可采用适当屏蔽,远离干扰源,选用屏蔽线等方法。 ■ 可能为气源压力太低,太高或不稳,需要改变气源气压,查看气路是否有漏气现象,稳定气源压力。 ■ 可能为气源内阻过大,需要下降气源内阻(大流量时要注意开大阀门,加粗管道,或者是多气瓶供气,保证气源充足,提高气源供气能力。 ■ 可能为污染,如气源有粉尘杂质,容易液化等,应在通道前加装过滤器,干燥器,或者适当加热。若使用硅烷等特殊气体,应注意管路的密封性和气源干燥 。 ■ 可能为MFC电路或调节阀故障,需要回厂检修。
MFC流量显示不稳,如何查找并解决?
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