刻蚀机的原理和应用

　　蚀刻是指曝光制版、显影后对被蚀刻区域的保护性触摸，蚀刻时与化学溶液的接触，以达到溶解腐蚀、形成凹凸或镂空成型的效果。较早可用于制作铜板、锌板等印刷凹凸版。刻蚀机可分为化学刻蚀机和电解刻蚀机。

　　其基本原理是在真空低气压下，由ICP射频电源产生的射频输出到环形耦合线圈，通过耦合辉光排出一定比例的混合刻蚀气体，产生高密度等离子体。在下电极的射频射频作用下，这些等离子体轰击衬底表层，使衬底图形区域的半导体材料化学键断裂，与刻蚀气体生成挥发性物质，以气体形式离开衬底，并被抽离真空管道。

　　在化学蚀刻中，使用化学溶液通过化学反应来达到蚀刻的目的。化学刻蚀机是通过化学反应或物理冲击去除材料的技术。

　　电蚀刻是利用金属在以自来水或盐水为主要蚀刻体的液体中阳极溶解的原理，对金属进行蚀刻，接通蚀刻电源，从而达到蚀刻的目的。

　　优点:没有污染，但只有一步蚀刻不可能没有污染，其他工序都须没有污染，适用于实验性生产和凹印字符的小面积蚀刻。主要用作研究实验机，或者简单的在金属上蚀刻标记，也叫电打标。

　　缺点:蚀刻表层不均匀，大面积腐蚀速度慢，不可用于量产，也不可用于刻字的大面积蚀刻，不可用于标牌的量产加工。

　　刻蚀机主要应用于航空、机械、标牌行业，刻蚀机技术广泛应用于传统加工方法难以加工的仪表板、铭牌、薄工件的加工。蚀刻是半导体和电路板制造中不可缺少的技术。现已广泛应用于金卡标牌加工、手机按键加工、不锈钢滤网加工、不锈钢电梯装饰板加工、金属引线框加工、金属眼镜脚线加工、电路板加工、装饰金属板加工等工业应用。