金刚石设备基片台的上下升降功能

金刚石设备基片台的上下升降功能

微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)工作原理是先将谐振腔抽真空，始终保持谐振腔的密封性，微波发生器产生的微波经波导管进入谐振谐振腔，并通入碳源气体与氢气的混合反应气体，在微波的激励下，在谐振谐振腔内产生辉光放电，使反应气体的离子化并形成各种活性基团，然后各种活性基团在籽晶上发生一系列的化学反应并逐渐在籽晶表层发生吸附、脱附、迁移、扩散和沉积，得到金刚石。由于其是用电磁波能量来激发反应气体，属于无极放电，等离子体纯净，同时微波的放电区集中而不扩展，能激 活产生各种原子基团如原子氢等，产生的离子的动能低，不会腐蚀已生成的金刚石。

在金刚石生长过程当中，等离子体处于金刚石膜的上面并与金刚石膜保持特定的距离，随着金刚石膜的不断生长，金刚石膜的厚度不断增加，金刚石膜表层与等离子体的距离也不断缩小，由于金刚石生长所需的温度是等离子体提供的，而金刚石生长的温度是特定的，因此，随着金刚石膜的厚度不断增加，金刚石此时的环境温度已经偏离了特定的生长温度，这样不利于金刚石的生长。而基片台的上下升降功能就可以很好的解决这个问题，当金刚石生长一段时间后，将基片台向下调节一定的距离，始终确保金刚石膜和等离子体保持合适的距离。