旋片真空泵机组的简介与优点

旋片真空泵机组是以泵为主泵，以旋片泵为前级泵串联而成的。旋片真空泵机组选用的旋片泵作为前级泵，因此它战胜了旋片泵运行时在一定压力下抽气速率低的缺点，而且同时保留了罗茨泵能迅速工作，有比较大抽气速率等优点。因为旋片真空泵机组的结构紧凑、抽速大、占地面积小，所以可以代替多台机械真空泵,因此旋片真空泵机组广泛地用于在真空冶炼、电力电容器、变压器真空热处理、真空镀膜设备的预抽、电真空半导体等行业中抽除密闭容器中含氧不高的、无爆炸性的、对金属无腐蚀性的、与泵油不会起化学反应的也不会含有颗粒尘埃的气体。

而立式无油往复泵机组以ZJ泵为主泵，以WLW型方式无油泵为前级泵串联而成，由于WLW型真空泵机组采用无油自润滑系统，这样可以获得洁净真空，这样在加装尾气收集装置后，可以收集在高真空系统中无法凝固、无法压缩收集的气体，而又同时避免了水环机组所产生的大量废水的排放而造成污染环境的问题。

旋片真空泵机组是利用转子和可在转子槽内滑动的旋片的旋转运动以获得真空的一种变容机械真空泵机组。当采用工作液来进行润滑并填充泵腔死隙，分隔排气阀和大气时，即为通常所称的油封旋片真空泵。无工作液时，即为干式旋片真空泵机组。

在油封旋片真空泵中，国内习惯上称皮带传动的为旋片式真空泵，而把泵与电机直接连接或用联轴器连接的称为直联旋片真空泵。在每种泵中，又有单级和双级之分。在单级泵中，由于选用的结构形式和参数不同，泵的限度压力和用途也不同。

它们的共同特色是结构较简单，使用方便，能从大气压力下起动，可直接排人大气，偏心质量较小，维护简便，双级泵的限度压力为6×10-2～l×10-2Pa，一种单级泵可达4Pa左右，另一种单级泵为50～200Pa左右。

旋片真空泵的优点是新投入使用的泵真空度相对比较高。旋片真空泵中气体压缩是等温的。由于没有排气阀及摩擦表层，故可以抽除带尘埃的气体、可凝性气体和气水混合物。有了这些突出的特色，尽管它效率低，仍然得到了广泛的应用。 结构简略，制造精度需求不高，简略加工，结构紧凑。