阳极膜线性离子源的安装和操作

阳极膜线性离子源的安装和操作

  1.开箱检验

  打开包装，根据装箱单检验货物是否齐全。

  2.机械安装

  用户可以根据自己的特定需求制作响应式支架，方法是使用离子源表层四个角上预留的M6螺纹孔将离子源安装在所需位置。 这项工作也可以委托我公司进行设计和加工。

  3.真空泄漏检测

  离子源在出厂前已经过真空泄漏测试。 在将离子源安装在喷涂机或其他系统上之后，应进行真空泄漏测试，以确保接口法兰和系统之间的良好密封。 最简单的方法是关闭离子源的入口管并执行真空测试。 观察系统的局部真空度。 如果没有明显减少，则说明已准确机械安装了离子源。 如果发现显着减少，可以使用真空检漏仪检测泄漏或与我们公司联系。

  4.气体连接

  只需将质量流量计（或其他气体流量控制设备）的输出端与离子源的气体输入端连接即可。 离子源的进气管是黄色气管。 安装离子源后，应先关闭气源，以观察供气管道，并进行真空测试，以确认整个供气管道已密封。

  5.电源安装

  根据离子源电源的原理图，将驱动电源的正极连接到离子源的阳极，将驱动电源的负极连接到离子源的外壳（即离子源的外壳）负极接地。 由于离子源的驱动电压很高（1500V），因此连接线和端子的结构必须确保其耐压高于5000V，同时要确保较大的绝缘间隙以避免在潮湿环境中产生蠕动电弧 。

  6.冷却水连接

  离子源有四个冷却水管，两个蓝色和两个橙色，分别是阳极和阴极的冷却水入口和出口。 其中，一组有两个蓝色的管道，冷却水进入，另一根流出，橙色的两个管道成组，冷却水进入，另一根流出。 无需区分进出水的方向，即用户定义了与进水口颜色相同的任何水管，另一个是出水口。 背板冷却水，根据实际要求。

  注意：在使用离子源之前，必须确认水冷管是否光滑且压差是否符合要求。