氢气压力传感器的分类及原理

　   1.氢气压力传感器的半导体传感器

　　以电阻式半导体传感器为例:sno2、zno、wo3等金属氧化物主要用作气敏材料。比如国产qm系列氢气传感器，就是以sno2为氢气敏感材料，所以也叫金属氧化物半导体氢气传感器。其工作原理是:吸附氢时，氢作为施主释放电子，与化学吸附层中的氧离子结合，因此载流子浓度发生变化，变化值与氢的体积分数有一定的函数关系。

　　2.氢气压力传感器的热电传感器

　　首先，在衬底上沉积一层热电材料，然后沉积一层催化金属，如铂、钯等。，沉积在热电材料表层的某一部分，分别从催化金属层和热电薄膜层(表层没有催化金属)中取出，得到简单的热电氢传感器。当敏感元件暴露在含有氢气的环境中，在催化金属的作用下，氢气与氧气发生反应，生成水蒸气并放出热量。因此，沉积催化金属的一端具有高温，没有沉积催化金属的一端具有低温，这是冷端。由于热电材料的热电发电效应(塞贝克效应)，热端和冷端的温差转化为温差电势，作为电信号输出，从而实现对氢气的检测。

　　3.氢气压力传感器的光纤传感器

　　由于各种固态氢气压力传感器都采用电信号，一个共同的缺点就是可能会产生电火花，这对于氢气体积分数较高的环境来说是一个很大的隐患。光纤传感器使用光信号，因此适用于爆炸性危险环境。

　　4.氢气压力传感器的钯合金薄膜氢传感器

　　新的第三代氢气压力传感器的技术是钯合金纳米薄膜氢气传感技术，具有氢气特异性，全量程，不受其他气体的干扰，测量过程当中不需要氧气，使用年限长。