离子源厂家：霍尔离子源的工作原理

  离子源厂家发现工作气体的中性原子或分子从气体分配器的孔进入被阳极包围的放电区域，从阴极发射的电子大约沿着磁力线进入放电区域并与原子或分子碰撞 工作气体。 这些碰撞中的一些会产生离子，并且放电区域中的电子和离子的混合物会形成等离子体。 从阳极到阴极，中性原子或分子的密度迅速下降，因此，大多数引起电离的碰撞发生在阳极包围的放电区域中。

  平行于磁场的电导远大于垂直于磁场的电导。 磁场线类似于等离子体等势线。 靠近对称轴的磁场线靠近阴极电势，而靠近阳极的磁场线靠近阳极电势。  Langmuir探针钡l存在这种径向电位差。 同时，发现沿磁力线也存在电势差，这倾向于使离子从阳极加速到阴极。 沿磁场线的电位差的原因将在后面讨论。 在放电室中形成的离子首先被加速到阴极和对称轴。 由于动量，移动到对称轴上的离子不会停留在对称轴上，而是会继续移动，通常会被对称轴另一侧的正电压反射。 根据形成离子的位置，离子可能会在离开离子源之前经过对称的载具多次。

  由于行进路径的多样性，离子在离开离子源并移至阴极外部后会形成宽束。 离子束中的正电荷将被阴极产生的一部分电子中和。 阴极产生的大多数电子返回到阳极以产生离子，同时形成电势差，从而加速了离子向阴极外部的移动。 阳极和阴极之间的发散磁场和电势梯度造成大多数离子向下游移动，远离离子源。

  阳极电流由一次电子和二次电子组成。 二次电子电流等于离子的产率。 当阴极发射电流等于阳极电流时，从阴极发射的多余电子足以充当离子束的中和电流。