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净化工程介绍

发布时间:2023-05-25 17:07:09 来源:互联网 分类:工业机械知识

文章摘要: 净化工程是指控制产品 (如硅芯片等) 所接触大气的洁净度及温湿度。使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程即可称为净化工程。净化工程原理:乱流洁净室乱流洁净室的主要特色是从来流到出流(从送风口到回风口)之间气流的流通截

净化工程是指控制产品 (如硅芯片等) 所接触大气的洁净度及温湿度使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程即可称为净化工程。

净化工程原理:乱流洁净室

乱流洁净室的主要特色是从来流到出流(从送风口到回风口)之间气流的流通截面是变化的洁净室截面比送风口截面大得多,因而不可在全室截面或者在全室工作区截面形成匀速气流。所以,送风口以后的流线彼此有很大或者越来越大的夹角,曲率半径很小,气流在室内不可能以单一方向流动,将会彼此撞击,将有回流、旋涡产生。这就决定乱流洁净室的流态实质是:突变流;非均匀流。

这比用紊流来描述乱流洁净室更确切、。紊流主要决定于雷诺数,也就是主要受流速的影响,但是如果采用一个过滤器的送风形式,则即使流速低,也要产生上述各种结果,这就因为它是一个突变流和非均匀流。因此这种情况下不仅有流层之间因紊流流动而发生的掺混,而且还有全室范围内的大的回流、旋涡所发生的掺混。

空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA) 进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。

净化工程优点:构造简单、系统建造成本低,洁净室的扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级。

净化工程缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。

净化工程作用;控制产品 (如硅芯片等) 所接触之大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造。此空间的设计施工过程即可称为净化工程。


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