文章摘要: 净化工程是指控制产品 (如硅芯片等) 所接触大气的洁净度及温湿度。使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程即可称为净化工程。净化工程原理:乱流洁净室乱流洁净室的主要特色是从来流到出流(从送风口到回风口)之间气流的流通截
净化工程是指控制产品 (如硅芯片等) 所接触大气的洁净度及温湿度。使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程即可称为净化工程。
净化工程原理:乱流洁净室
乱流洁净室的主要特色是从来流到出流(从送风口到回风口)之间气流的流通截面是变化的。洁净室截面比送风口截面大得多,因而不可在全室截面或者在全室工作区截面形成匀速气流。所以,。送风口以后的流线彼此有很大或者越来越大的夹角,。曲率半径很小,。气流在室内不可能以单一方向流动,将会彼此撞击,将有回流、旋涡产生。这就决定乱流洁净室的流态实质是:突变流;。非均匀流。
这比用紊流来描述乱流洁净室更确切、。紊流主要决定于雷诺数,。也就是主要受流速的影响,。但是如果采用一个过滤器的送风形式,。则即使流速低,。也要产生上述各种结果,。这就因为它是一个突变流和非均匀流。因此这种情况下不仅有流层之间因紊流流动而发生的掺混,。而且还有全室范围内的大的回流、。旋涡所发生的掺混。
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA) 进入洁净室,。并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。
净化工程;优点:构造简单、。系统建造成本低,。洁净室的扩充比较容易,。在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级。
净化工程;缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,。易污染制程产品。。另外若系统停止运转再激活。,欲达需求之洁净度,。往往须耗时相当长一段时间。
净化工程作用;控制产品 (如硅芯片等) 所接触之大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造。此空间的设计施工过程即可称为净化工程。。
净化工程介绍
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