PFA烧瓶冷凝管氟化氢蒸馏冷凝装置PFA反应冷凝
南京滨正红仪器有限公司
2025-05-09 09:06:20
一、PFA蒸馏冷凝装置的核心特性


PFA材料对HF、王水、强酸强碱等极端腐蚀性介质具有高度耐受性,确保设备在长期运行中不被腐蚀,避免金属离子污染产品。
典型案例:在电子级氢氟酸(EL级,金属杂质<1ppb)生产中,PFA装置可替代传统玻璃或哈氏合金设备,显著降低杂质引入风险。
高温稳定性
PFA长期使用温度范围为-200℃至+260℃,可承受氟化氢制备过程中的高温蒸馏(如250℃)和低温冷凝(如-80℃)工艺。
典型应用:在12英寸晶圆清洗用氢氟酸生产中,PFA装置可实现金属杂质总量<0.5 ppt,显著优于行业标准的1 ppt。
透明性与工艺可视化
PFA半透明特性便于实时观察蒸馏过程中的液位、颜色变化和气泡现象,为工艺优化提供直观依据。
二、PFA蒸馏冷凝装置的搭配方案
基础配置
蒸馏单元:PFA圆底烧瓶(250mL-5L)或PFA夹套反应釜,搭配PFA蒸馏头、四氟乙烯密封垫圈,确保高温高压下的密封性。
冷凝单元:PFA蛇形冷凝管或PFA螺旋冷凝器,采用液氮或乙醇-干冰混合物作为冷媒,实现HF气体的高效冷凝。
收集单元:PFA接收瓶(100mL-2L),带PFA放液阀,便于无污染转移产品。
进阶配置(针对高纯度需求)




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