KYOSAN电源维修RFK150ZDTG1电源控制器BKW-100

维修范围：刻蚀、RIE、平行板、ICP、pecvd、射频溅射、CVD 和PVD等系统，工业系统中感应加热和电介质加热设备的电源，烘干、塑化、接、硅晶体生长和平板显示器领域应用电源，直流偏压和硬镀膜，信息技术设备(ITE)及轻工业系统设备，同时对仪器电源提供检测维修，服务于太阳能光伏、PVD镀膜，半导体薄膜、离子注入、刻蚀，平板显示，光盘、光电子LED等制造设备以及科研院校、技术研究所等行业。

射频电源常见故障及维修：

故障现象1：打开电源，电源指示灯不亮；

故障现象2：电源灯亮了，预热灯不亮；

故障现象3：电源灯亮了，预热灯亮、辉光亮，匹配器功率及反射功率，电源的功率指示和电流指示不正常。（正常的功 率指针指到220，电流指示0.4）

故障现象4：电源灯亮了，预热灯亮，辉光不亮；

故障现象5：无功率输出；

故障现象6：有功率输出，但是调不大，或是调不到正常值。

故障现象7：无反射功率，或反射功率过大，射频功率源坏；