20年 RFPT射频电源维修 射频匹配器维修 AX1K5

20年 RFPT射频电源维修 射频匹配器维修 AX1K5

射频电源(RF generator)是用来产生射频电功率的电源。 它的输出一般是正弦波或脉冲，频率有2MHz、13.56MHz、27.12MHz、60MHz等规格，输出功率从几十瓦到几十千瓦，输出阻抗一般是50欧。

在RF电路设计中，包括如何通过小化环路面积、遵循功率回流路径原则、远离高增益放大器和使用星型拓扑来减少EMI。 同时强调了电源去耦技术和滤波电容的选择对系统性能的关键作用。为了保护放大器，射频电源采用了温度传感器、反射功率控制、快速反射功率控制、功耗控制、限流电路等设计方法，采用了沉积、蚀刻、清洗、Asher、大气压、溅射系统等固定方式。